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Mirrors.Z12，壓電位移臺快反鏡，Z軸掃描，高速擺鏡；毫秒級運(yùn)動響應(yīng)，高分辨率相位調(diào)節(jié)解決方案，高動態(tài)位置姿態(tài)定位，光路調(diào)節(jié)

X20mini，壓電陶瓷mini線性位移臺，X軸掃描$n外形緊湊，動力性能不折扣的壓電線性臺

Free3D.ZTxTy.150，壓電三軸并聯(lián)位移臺，三自由度，ZTT移動；由納米級驅(qū)動單元實(shí)現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu)，有效降低累積誤差；多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高。

Free6D.3-2.150.G2，壓電六軸并聯(lián)位移臺，六自由度，兼容高真空；控制方式：各驅(qū)動單元模塊通過光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制；通過專用軟件，實(shí)現(xiàn)對六軸并聯(lián)運(yùn)動的解算，分配到各驅(qū)動單元模塊，實(shí)現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時調(diào)節(jié)。

Carrier.Lxxxx.XY，壓電載物臺，大行程高負(fù)載，兼容無磁高真空$n“Carrier. 系列“ 大行程載物臺 — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

Carrier.Sxxx.ZTxTy.C，壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)臺，高負(fù)載通孔型，zTxTy方向；針對光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案；?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級。