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Free3D.ZTxTy.150，壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái)，三自由度，ZTT移動(dòng)；由納米級(jí)驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu)，有效降低累積誤差；多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高。
Free6D.3-2.150.G2，壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái)，六自由度，兼容高真空；控制方式：各驅(qū)動(dòng)單元模塊通過(guò)光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制；通過(guò)專(zhuān)用軟件，實(shí)現(xiàn)對(duì)六軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)的解算，分配到各驅(qū)動(dòng)單元模塊，實(shí)現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時(shí)調(diào)節(jié)。
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