LSxx.Lab 系列·線性位移臺

• 超安靜運(yùn)動，20 kHz驅(qū)動頻率

• 極緊湊外形設(shè)計(jì)，分為35mm和 65mm 兩類

• 閉環(huán)控制·位置傳感支持光學(xué)型

• 高精度·空間傳感分辨率2 nm(默認(rèn)), 0.5 nm(.adv), 50 nm(.E)可選；

• 最小步伐優(yōu)于 10 nm；

• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件；

• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺，搖擺臺；

• 支持無磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件；

LS35x.Lab 兼顧尺寸和性能的選擇 35mm × 35mm × 12mm

LS65x.Lab 手動·光學(xué)位移臺的替代  65mm × 65mm × 13mm

LS35z.Lab z方向500 g, 能負(fù)重&能遠(yuǎn)行  35mm × 35mm × 41mm

LS65z.Lab z方向500 g, 直驅(qū)垂直運(yùn)動，低厚度，省空間  65mm × 65mm × 44mm

壓電線性位移臺，光學(xué)傳感，兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：

LS35x.Lab

LS65x.Lab

LS35z.Lab

LS65z.Lab

壓電線性位移臺，光學(xué)傳感，兼容無磁高真空——尺寸圖：

LS35x.Lab

LS65x.Lab

LS35z.Lab

LS65z.Lab

LS65z.Lab.LR